Sistemi Micro - Elettro-Meccanici - MEMS - wafer sono miniaturizzati elementi meccanici ed elettro-meccanici ? . Essi sono costituiti da strutture miniaturizzate , sensori, attuatori e microelettronica . I dispositivi possono convertire energia da una forma ad un'altra , come la conversione di un segnale meccanico misurato in un segnale elettrico . Utilizza

wafer MEMS sono utilizzati in molti tipi di dispositivi elettronici , compresi i sensori , testine di stampa e di micro -reattori . Essi sono spesso utilizzati in sensori di pressione , unità di misura inerziale , l'analisi del DNA e sensori impiantabili .
Materiale

wafer MEMS sono creati su wafer di silicone o di vetro . Tipi di vetro speciali , tra cui vetro alcali - libero , a basso vetro alcali , vetro speciale ad alta trasparenza ed elevata purezza sintetico silice fusa sono disponibili per applicazioni specializzate .
Taglie

wafer MEMS di dimensioni variabili da un micron a qualche millimetro . Dimensioni di base sono 4 , 6 e 8 pollici con uno spessore compreso tra 0,05 e 2 mm . I piccoli attuatori compiere imprese meccaniche molto più grandi di loro dimensioni comporterebbe .
Futuro della tecnologia MEMS

Con un ulteriore sviluppo della tecnologia MEMS , può essere possibile per questi miniaturizzati sensori, attuatori e le strutture da unire su un substrato di silicio comune con circuiti integrati . Questo unisce i cervelli di circuito con le capacità decisionali del MEMS .